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擴散泵電磁加熱盤 大功率擴散泵電磁加熱應(yīng)用節(jié)能效益突出
2016-02-25 新聞來源:碧源達科技
上一篇:超強適應(yīng)能力10KW電磁感應(yīng)加熱電源
擴散泵作為真空系統(tǒng)的主泵已經(jīng)有幾十年的歷史了,而擴散泵的加熱方式迄今為止雖有N個變化方式卻多不盡人意。最早的電阻絲加熱方式一直沿用至今。雖有部分仁人志士對其做過N次改進,效果還是一般,仍然存在著:容易斷絲,容易短路,等諸多可靠性低的易發(fā)故障。
電阻加熱的第三代加熱器,為圓餅式、扇形餅式。壽命比加熱管稍長。但要求加熱餅緊貼擴散泵底。這點用戶很難做到。還有導(dǎo)線接入?yún)^(qū)域溫度過高觸電區(qū)域極易氧化虛接。雖經(jīng)N次改進故障率仍居高難下。
電阻加熱的第二代變種加熱方式為電熱管插入擴散泵內(nèi)的加熱方式。這種加熱方式的優(yōu)點是:加熱速度快。然而缺點也極其明顯:擴散泵內(nèi)一旦缺油便引起加熱管干燒,鏈鎖反應(yīng)造成炸管 、炸套管、導(dǎo)致擴散泵泄漏、擴散泵油裂解、氧化、碳化失效。讓用戶苦不堪言。
用這種方式加熱的優(yōu)點便是加熱速度快。節(jié)能、爐子本身不熱。爐子本身壽命長。故障率極低。
擴散泵電磁加熱節(jié)電裝置和電阻絲的對比
(一)在國內(nèi)真空鍍膜擴散泵以電阻絲加熱最為普遍
電阻絲加熱方式原理:是通過燒紅來烘烤真空鍋爐底部,從而加熱里面的導(dǎo)熱油來使擴散泵里面的溫度上升來達到設(shè)備的工作要求。電阻絲加熱熱轉(zhuǎn)換效率低,有很大一部分熱量浪費在空氣中,利用的很少一部分。電阻絲溫度高了也很容易燒壞,經(jīng)常需要更換電熱絲。工業(yè)電磁加熱在擴散泵上應(yīng)用,給擴散泵行業(yè)帶來了福音。
電磁加熱節(jié)電裝置的原理:電磁加熱是通過把電能轉(zhuǎn)換為磁能讓被加熱體自身產(chǎn)熱的一種加熱方式。熱轉(zhuǎn)換效率達到95%以上。
(二)擴散泵電磁加熱比電阻絲加熱的優(yōu)勢:
(1)高效節(jié)能,比電阻絲加熱節(jié)電30%以上。
(2) 加熱速度快 ,加熱均勻。
(3)運行穩(wěn)定,控溫精確 ,能夠精確的控制擴散泵的最佳使用油溫,延長擴散油使用壽命。
(4)安裝快速 操作方便
(5)改造后5年內(nèi)基本無二次投入